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CVD管式炉具有九大特点，您都知道几点？
更新时间：2021-04-06 点击次数：5609
CVD管式炉由管式炉+真空系统+供气系统组成，温度可以达到1200度，可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
本产品采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
应用范围：
CVD管式炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
产品特点：
1、采用K型热电偶测温，测温准备；
2、气路连接方式采用了快速连接法兰结构；
3、采用石英管、两端用不锈钢法兰密封；
4、取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作；
5、取消了复杂的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能；
6、采用双层壳体结构，内层为不锈钢结构，外壳为碳钢；
7、双层炉壳间配有风冷系统，能使炉体表面快速降温，炉壳表面温度小于60度；
8、加热炉膛由上下两部分组成，其中上部炉膛可整体向后翻转110°，方便取放、观察实验物料，炉膛材料采用进口高纯氧化铝多晶体纤维材料制成，节能50%，温场均匀；
9、加热元件采用高电阻合金丝OCr27Al7Mo2，电阻丝位于炉膛四周，温度均匀性高，温场效果较好。
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