CVD管式炉在使用前要做好哪些准备工作?
更新时间:2022-06-13 点击次数:3013
CVD管式炉是一款在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
CVD管式炉的使用方法:
准备工作:
1、设计升降温曲线,升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于15℃/分钟。
2、清扫环境。
3、每周开始使用时,检查机械泵油线处于标线以上,拆除两端盖,用吸尘器清洁刚玉炉管。
4、将样品舟推入刚与管炉膛中部(恒温长度10cm)。
5、塞上两块隔热炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6、装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。
开炉:
1、开启总电源,风扇启动。
2、开面板电源(顺时针转动Lock旋钮),启动面板。
3、使仪表处于初始状态(即PV显示数值,SV闪烁显示Stop),此时若不处于该状态,则按向上键对仪表清零,使仪表只处在测显状态。
4、按向左键1秒,进入温度设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节温度的设定数值。
5、按回车键1秒,进入时间设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节时间的设定数值。
6、程序后一步为时间状态,数值为-121,以结束全部程序,按回车键确定。
7、按住向左键不放,然后按下回车键,则退出程序设置。
8、按向左键进入程序设定状态,再连续按回车键检查设定的程序是否符合预定的升降温曲线。
9、按住向左键不放,然后按回车键复位。
10、按回车键2秒,进入基本参数设置,连续按回车键检查基本参数(n5=389.7,p=15,t=10,ctrl=3,opl=28)。
11、按住向左键不放,然后按回车键,复位、
12、按回车键1秒,检查是否为STEP1,即程序从步开始执行。
13、按住向左键不放,然后按回车键,复位。
14、按向下键2秒,SV显示Run运行程序。
15、按绿色TurnOn键,启动加热电源,观察电流表、电压表:(若工作电流超过150A持续几秒钟,按下Turnoff键断开加热电源,检查功能参数的设定)。
16、在使用惰性气体做工作气体时,升温过程中严密注意压力表,如压力高于0.08MPa,立即打开出口阀放气。
17、在使用氢气做工作气体时,降温过程中要注意监视锥形瓶中出气的情况,如果有倒吸情况,应立即逆顺时针调节流量计旋钮,增加进气量。
18、操作者在升温、保温、降温过程中不得离开,如遇跳闸,要立即合闸供电。