管式真空炉的相关操作说明
更新时间:2023-03-02 点击次数:3203
管式真空炉具有使用简单、运行可靠、抗干扰能力强、控制稳定、调整方便、美观适用等特点,可应用于小型钢件的淬火、退火、回火热处理,以及立式CVD镀膜等。设备可在气氛状态、真空状态下运行,也可作为普通管式炉使用,适用于高校实验室及科研院所等单位,也可使用于企业小批量生产用。
操作说明:
1、设计升降温曲线:
除了实验的需要外,还要考虑管式炉的使用范围。
当炉管采用刚玉炉管:各温区的升﹑降温速率不宜过快 (≤5℃)。高使用温度可以在1200℃以上
当炉管采用石英管:升温速率≤10℃,降温速率≤15℃. 使用高温度不要超过1100℃
采用硅钼棒为加热原件时,不应该在400℃至700℃温度范围长时间保温内使用,否则硅钼棒将会发生低温氧化致使元件毁坏。
使用温度不要超过真空管式炉的允许高加热温度,并且在高加热温度使用时间不宜过长,不宜超过1小时
2. 管式真空炉一次使用或长时间闲置再使用时,要进行预烘,既在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后再使用,以免造成炉膛破损。
3. 装样时将样品舟推入刚与管炉膛中部,尽量靠近中间位置。
4. 两端塞上隔热炉塞,减少热辐射损失。
5. 装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。
6. 通烧结气体的操作步骤:
关闭工作气体气路,将管式炉气体出口端连接真空泵。
打开真空泵电源,打开出气阀,抽空管体和气体管路。
当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭进气阀。静置一小时,管式炉真空表不移动仍为-0.1时,说明管式炉密封性良好,否则要找出漏气点改正。也可以使用惰性气体加压的方式测试气密性,加压一般不超过0.05Mpa。
旋动旋钮开气瓶主阀,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在合理范围。(压力表上有适用范围)。
缓慢打开管式炉进气阀;同时关注管式炉气压表,确认气压在0.05MPa以下(如气压高于0.05MPa,使用管式炉出气阀放气)。
管式炉气压表当气压稳定时,关闭管式炉进气阀,打开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
重复抽气三次后,关闭进气阀和出气阀,将出气孔接到锥形瓶。
打开管式炉进气阀,打出气阀,使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/s。排除的气体要排到室外或者排风柜内。
通气十分钟之后再开始加热。