立式管式电炉

立式管式电炉组成的CVD系统设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产，CVD系统除了主要应用在碳纳米材料制备行业外，现在正在使用在许多行业，包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域。

炉门开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。

一、操作便捷性：

1、气路连接方式采用了快速连接法兰结构。

2、使取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作。

3、取消了复杂的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能。

二、结构实用性：

1、1200℃立式管式电炉系列：加热炉膛有左右两部分组成，其中右部炉膛可整体向右翻转110°，方便取放、观察实验物料，炉膛材料采用的多晶莫来纤维真空吸附制成，节能50%，温场均匀。电热元件采取高电阻合金丝0Cr27Al7Mo2。

2、密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。

3、两端气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力，杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。

4、空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到达50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。

三、使用安全性：

1、炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

2、超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。

3、漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。

四、控制智能化：

1、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。

2、国产程序控温系统可编辑50段程序控温，进口程序控温系统可编辑40段程序控温。

3、电炉内配置有485转换接口，可选配软件实现与计算机相互连接。完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

五、周边拓展性：

1、真空控制系统。通过各种真空控制系统，可以实现样品在低、中、高真空环境下进行试验。

2、气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量，以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。

显示画面有仪表屏、光柱图、实时曲线、历史曲线、数据报表、全中文触摸式操作，功能并且使用方便。